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080219_01_lakner_ipms_dresden.pdf
Prof. Dr. Hubert Lakner - Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
Licht und Elektrizität werden als Universalwerkzeuge der kommenden Jahrzehnte angesehen. Mikrominiaturisierung und Integration neuer zusätzlicher Funktionen in Systemen liegen in der Roadmap zukünftiger Entwicklungen. MEMS/MOEMS verknüpfen diese beiden Megatrends in idealer Weise. Immer mehr MOEMS wie Mikroscanner, Mikrospiegelarrays, Mikrospektrometer, Sensoren und Aktoren, Mikrodisplays und Mikroprojektoren finden Anwendungen und Märkte. Durch die Erforschung und Entwicklung von MOEMS/Photonischen Mikrosystemen wurden wesentliche Beiträge zur Produktminiaturisierung bereits geleistet, bzw. werden in naher Zukunft erwartet. Der Vortrag stellt den Stand der Forschung und Entwicklung solcher Systeme sowie typische Applikationen dar. Darüberhinaus werden die zukünftigen Trends und Entwicklungsperspektiven aufgezeigt.
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