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  1. Standard
    Normale in Nano-und Mikromesstechnik - Rückführung, Stabilität und Grenzen
    L. Koenders - Physikalisch-Technische Bundesanstalt Inhalt: Normale in Nano-und Mikromesstechnik -Rückführung, Stabilität und Grenzen; Messaufgaben und Unsicherheitsanforderungen, Mikrosystemtechnik, IC-Technologie, Nanotechnologie, Messbereiche, Messmethoden, Typische Rückführungskette für SFM; VDI/VDE-2656 -Grundkalibrierung SPM, Ebenheitsabweichungen, Tiefeneinstellnormale, Trapez-Tiefeneinstellnormal, Stufenhöhen und Lateralnormale, Auflösungsnormal; Kalibrierung von Normalen, Large-Range SPM, Lateral Standard Calibration, Principle of the gravity center (GC) method, Uncertaintyof MeanPitch, Stufenhöhennormale, Ringvergleich–BeispielNano2, A landmark-based 3D calibrationstrategy, novelmethodfor3D -calibration, Calibrationof a CLSM, AtomareStufenauf Si(111), Nanostandard, Roughness Standards, Sapphire-Surface by Nanogrinding Keywords: Papers 2007, Industry, Research & Development (R&D), Education & Training (E&T) ...
    Erstellt: 04.05.2012 13:20
     
  2. Standard
    Sonderbeiträge 2007
    ...
    Erstellt: 13.04.2007 20:36